CONTURA紧凑型测量机
CONTURA--来自 蔡司的灵活、可靠和优良的品质保证测量平台。半导体测量，新一代测量机精度更高，可兼容多种光学式探头，从而实现更广的测量范围。优异的测量技术、蔡司CALYPSO测量软件以及高度优化的通用测量程序令CONTURA成为同类测量机中的标杆之作。

探头类型

CONTURA可配备固定型被动式探头、灵活的蔡司RDS关节式探头座或主动式扫描测针。各类探头均具有扫描功能。主动式探头采用蔡司navigator技术——高速测量唾手可得。

稳定的测量结果

根据配置不同，CONTURA采用工业陶瓷或CARAT导轨，具有优异的刚性 、较低的热膨胀性和轻盈的机身重量。三轴均采用四面环抱气浮轴承，可在高速运行和加速的条件下保持稳定性。悬浮安装在CONTURA导轨上的玻璃陶瓷光栅尺具有零膨胀特性，因此无需安装温度传感器或进行误差补偿。高等级的防护特性使得该机器可以在生产车间使用。

计算机辅助精度修正（CAA)

动态形变的桥架直接影响测量精度，尤其是在扫描测量时更是如此。CONTURA可计算这一动态效应所需的补偿值。因此在高速测量环境下亦可保证测量精度。

控制简便

用户无需计算机，只需借助界面友好的控制面板即可对系统进行控制。通过先进的摇杆可对所有轴的运动进行更为便捷与精准的控制。可在CNC模式下对速度进行调节。

选项

HTG（宽温度梯度）选项可保证宽温度范围内（18-26℃）一致的精度。X=700/1000mm的测量机包含有工件和测量机温度传感器

集成式探头架可在无需校准的情况下获得高效率

主动式测针适用于快速更换架选项

使用蔡司AirSaver功能可节省60%压缩气体用量。

探头类型

接触式

接触式探头适用于测量拥有垂直面且没有斜面特征的小型工件。蔡司CONTURA direkt配备蔡司VAST XXT扫描探头，为单向生产中的生产和过程检测提供了一种经济入门级的扫描技术。可根据需要加装XDT单点探头。蔡司CONTURA接触式探头的大尺寸为10/16/6。

RDS

与蔡司VAST XXT探头以及灵巧的RDS关节式探头座共同使用，确保扫描到复杂位置的角度特征。RDS关节式探头座步距角为2.5°，探头可到达20,736个不同的角度位置。在测量结构复杂的工件时，需要对探针进行特殊配置，此时这一优势尤为明显。同时由于特别针对校准过程进行了优化，整个校准时间也大大缩短了。借助RDS，也可在蔡司CONTURA上使用蔡司光学式探头。

主动式

蔡司CONTURA 主动式探头采用navigator技术，单次快速扫描即可获得所需测量值。支持该技术的典型探头是VAST XTR gold或VAST XT gold，两种探头的接口相同，非常适合于深孔测量。探针快速更换系统选项适用于该探头系统。

长度测量误差E0

自1.5 + L/350 μm起

测量范围