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Equator比对仪通过向车间提供高重复性、对热效应不灵敏、多用途并且可重新编程的比对测量方案,实现制造过程控制。车间用比对测量为控制车间的制造过程,半导体测量,数十年来工程师一直在使用量具,如卡尺、通过/不通过量规或孔径规等。随着制造水平